隨著電子工業的發展，新型的特高頻大功率振蕩管不斷涌現。80年代初，輸出功率50千瓦、頻率1000兆赫的磁控管已用于介質加熱。采用磁控管已能使振蕩管頻率達10000兆赫（波長為30厘米）。利用波長在幾厘米以下的行波管、微波管，實現了微波加熱。微波可用波導管無損耗地傳遞；再用特殊材料做的凸透鏡進行集中，用以解決一些特殊加熱問題，這是高頻加熱的新途徑。

      供高頻 (100千赫以上)感應加熱用的電源設備。其加熱原理同靜止式中頻加熱電源。用于對導體進行感應加熱的高頻電源，其工作頻率大致在0.1～5.0兆赫范圍內。其中0.1～0.2兆赫的電源多用于熔煉導體金屬，如銀、金、鉑等；0.3～0.5兆赫的電源用于鍺、硅及化合物半導體的有坩堝拉晶，以及黑色、有色及稀有金屬的焊接、氣體分析、熱處理等工藝。

      1～5兆赫的電源用于硅的無坩堝區熔拉晶。5兆赫以上電源大都用于電介質加熱。這種加熱方式是利用電介質在高頻電場作用下極化了的分子來回扭轉所產生的摩擦熱。它適用于潮濕木材和紙張的干燥，塑料的加熱成形或焊接等。

      高頻加熱電源及感應加熱技術目前對金屬材料加熱效率高、速度快，且低耗環保。它已經廣泛應用于各行各業對金屬材料的熱加工、熱處理、熱裝配及焊接、熔煉等工藝中。它不但可以對工件整體加熱，還能對工件局部的針對性加熱；可實現工件的深層透熱，也可只對其表面、表層集中加熱；不但可對金屬材料直接加熱，也可對非金屬材料進行間接式加熱。等等。因此，感應加熱技術必將在各行各業中應用越來越廣泛。

      到20世紀80年代，限于工作頻率較高的固體器件功率較小，工業用高頻加熱電源大都仍采用電子管式高頻振蕩器。它由振蕩管、LC負載振蕩回路、直流電源和反饋回路等組成。從應用觀點出發，它要求電路簡單，容易起振，輸出功率大，效率高；而對電流波形和頻率的穩定性要求不高。因此大多采用自激的電感三點式和變壓器反饋式振蕩器；在介質加熱電源設備中，常用推挽式電路，以提高高頻電壓，加大電場強度，增進介質加熱效果。